主要生産設備
| スライサ 東芝機械(2台) 東京精機(6台) |
ダイサ φ100/東芝機械(1台) φ200/東京精密(1台) |
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| 横軸平面研削盤(サーフェイス) テーブル450×150(3台) テーブル500×200(4台) テーブル600×300(1台) テーブル600×400(2台) |
横軸縦型ロータリ研削盤 テーブルφ500(5台) テーブルφ600(4台) |
縦軸縦型ロータリ研削盤 テーブルφ200(3台) |
| 横軸横型ロータリ研削盤 テーブルφ150(3台) テーブルφ200(1台) |
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| 両面研磨機 4B(2台) 5B(1台)…9B改造 6B(2台) 9B(1台) |
片面研磨機 φ300(9台) φ450(2台) φ600(6台) |
オスカー研磨機 φ400(10台) φ600(4台) |
| 縦型マシングセンタ F-MACH442/東芝機械(2台) ASV40/東芝機械(1台) V33/MAKINO(1台) α-D14MiA5/FANUC(2台) α-D14SiB5/FANUC(4台) |
横型マシングセンタ MILLAC44H/OKUMA(1台) |
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主要検査設備
| 測定顕微鏡 MF 100×50, 1µm /Mitutoyo(1台) STM 100×50, 0.5µm /OLYMPUS(2台) MM400 100×100, 0.1µm /NIKON(2台) STM6-LM 250×150, 0.1µm /OLYMPUS(1台) |
 測定顕微鏡(MM400) |
 測定顕微鏡(STM6-LM) |
| 画像寸法測定器 IM-6225 /KEYENCE(1台) 形状解析レーザ顕微鏡 K-X1000(□300ステージ) /KEYENCE(1台) |
 画像寸法測定器(IM6225) |
 形状解析レーザー顕微鏡(VK-X1000) |
| 三次元形状測定器 VR-5000 /KEYENCE(1台) |
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| 三次元測定機 CM99901-D097 /東京精密(1台) レーザ干渉計 FT-350UAC(φ350) /溝尻光学(1台) |
 三次元測定機(CM99901-D997) |
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| 平行･平面度測定装置 500×500, 0.1µm /Cores(1台) |
 平行･平面度測定装置 |
 平行･平面度測定装置 |
| 反射分光式膜厚測定機 F50-NIR φ300対応 /FILMETRICS(1台) |
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| 厚み測定機 接触式(スタンドマクロ) 0.1µm/Nikon(2台) 1µm/Mitutoyo(5台) |
 スタンドマイクロ |
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| 面粗さ測定装置 接触式 SJ-301/Mitutoyo(1台) SJ-411/Mitsutoyo(1台) |